电子化学品，一般是指为电子工业配套的专用化学品，电子产品生产的历程中，往往要用到几十种、甚至几百种电子化学品，并且越为高等的电子产品，对电子化学品的需求越高：品种多、品质高。同时，电子化学品质量的优劣，直接关系到电子产品质量的优劣。电子行业素有“一代质料一代产品”之说，也就是说，有先进的质料才华生产出先进的产品；新一代电子技术刚泛起，就必须有新一代电子化学品与之适应。这也造就了电子化学品行业的奇特特点：品种多、更新快、批量小、增值高、超纯、超净等。

由于氟原子半径小，是最生动的非金属元素，又具有较大的电负性，它形成的C-F键能要比C-H键能大得多，用氟原子和含氟基团（如三氟甲基、三氟甲氧基、二氟甲基、二氟甲氧基）取代电子化学品上的其他基团，能够显著提高电子化学品的活性。因此从20世纪80年代至90年代泛起含氟电子化学品以来，它就备受关注与重视。

目前含氟电子化学品已成为现有众多电子化学品中的重要一员，主要包括高纯含氟湿化学品、电子特气、电子氟化液、新能源电池电解质、含氟电子涂层质料等等，是太阳能、液晶面板、集成电路等行业制作历程中的要害性基础化工质料之一。

主要的含氟电子化学品

1.含氟超净高纯化学试剂含氟超净高纯试剂主要是作为清洗剂、蚀刻剂用于太阳能半导体、IC、液晶屏等行业，是制作历程中的要害性基础化工质料之一。其使用特点与含氟特种电子气体相类似，用量小、品质要求高。为了能够规范世界电子化学品的标准，国际半导体设备和质料协会(Semiconductor Equipment and Materials International，简称SEMI)于1975年建立了SEMI化学试剂标准化委员会，专门制定、规范了电子化学品的国际标准具体见表1。海内含氟超净高纯化学试剂生产企业未几、品种简单没有统一的行业标准，目前主要以全球电子化学

品龙头企业-德国巴斯夫的企业标准为主具体见表2。

目前，世界上含氟超净高纯化学试剂产品主要有：电子级氢氟酸(HF)、电子级氟化铵(NH4F)、电子级氟化氢铵(NH4HF2)、缓冲氧化蚀刻剂(BOE，由电子级HF和电子级NH4F凭据一定比例配制而成)等。

2.含氟电子特气含氟特气是半导体制程的必须品，是电子特种气体的重要组成部分，约占总量的30%左右，在半导体领域主要用于制作清洗剂、蚀刻剂，也可用于制作掺杂剂、成膜质料等。高纯度含氟电子特气作为极大规模集成电路行业必须的清洗和蚀刻气体，可以在芯片制作历程中包管极大规模集成电路的生成，确保电路能够有效发挥作用。含氟电子气体的细分品类众多，主要包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3等古板含氟电子气体，以及COF2、ClF3、F2等新型低GWP含氟气体。含氟电子特气不但用于半导体工业还用于 LCD疏散器件、非晶硅太阳能电池和光导纤维的制造。因高纯单晶硅是一种本征半导体，其导电性能很不睬想必须有控制地掺入微量的杂质元素，才华具有所需的电性能。因掺杂剂是有控制地加入，用量极小一般在万分之几到一万分之几，且直接加于硅片内因此质量品质要求甚高，必须是高纯化学品。

3.电子氟化液电子氟化液是一类高稳定性的全氟或接近全氟液体，因其具有优异的性能、稳定的化学惰性、良好的导热性能，极低的外貌张力，以及系统相容性，广泛应用于：
（1）半导体制造封装测试；（2）导热、冷却介质，盘算机效劳器及电子元器件系统散热介质；（3）溶媒稀释剂、润滑稀释剂等其他用途溶剂；（4）冷热攻击测试液。

（美国3M FC-40电子氟化液）

近年来，电子产品的规模扩大与集成度越来越高，为包管电子产品质量，电子产品清洗工业也随之快速生长，早期电子行业通常使用CFC进行清洗，但由于其会造成臭氧层破坏而被禁用，而CFC替代品例如三氯乙烯（TCE）、氢氯氟烃（HCFC）、正溴丙烷（nPB）等仍容易造成情况污染，因此只能作为过渡性替代清洗溶剂，急需接纳越发环保的清洗计划。电子氟化液主要是开发低GWP、零ODP的解决计划，包括在发泡剂、清洗剂、冷却液等领域。目前，主要计划为氢氟醚、氢氟碳及其与碳氢等化学品的组合物。

4.含氟冷却液含氟冷却液具有化学稳定性、不燃、不爆、低介电常数等特点，主要用于半导体、数据中心、化学工业、航天航空等领域，其中比较热门的是用于浸没式冷却液降温技术。浸没式冷却是利用氟化液的高绝缘性特点，将效劳器发热器件完全浸没于氟化液中，通过氟化液直接接触和循环传热，来给效劳器高效散热，可以不再依赖电扇、空调这些低效方法散热，节能70%以上，使得数据中心的PUE值抵达1.07，迫近了理论极限值1.0，大大提升了能源使用效率。在目今“碳达峰、碳中和”的大配景下，未来“能耗指标”和“碳排放指标”将会成为大数据中心焦点竞争力所在。浸没式冷却液降温技术不但可以大幅度降低数据中心用能，同时也可以进一步节约空间，满足大数据中心未来生长趋势。

5.含氟电子涂层质料含氟电子涂层质料主要用于电子产品的抗指纹涂层、防污涂层、电子防潮涂层剂等微米或纳米涂层领域。其身分主要为含氟硅氧烷、含氟丙烯酸酯、氟硅油。其中含氟抗指纹液主要是接纳全氟聚醚为其实原料进行合成，是主流的电子屏幕的含氟抗指纹液。含氟电子涂层质料在我国电子行业具有广泛的应用，是生长高端电子器件不可或缺的质料。

 （含氟电子涂层（氟硅树脂） HY-1760）

小结

含氟电子化学品在我国市场需求量越来越大，随着海内电子技术的快速生长，尤其是外洋向海内的工业转移，海内市场上对含氟电子化学品的需求无论是数量上、质量上照旧品种上都将有更高的要求，届时含氟电子化学品将具有品种多样化、品质系列化的局面，相信在不久的将来，世界含氟电子化学品研发在中国、生产在中国、应用在中国，海内含氟电子化学品必将迎来一个快速生长的热潮。

参考文献

[1]孙忠贤.电子化学品[M].北京;：化学工业出书社，2001.

[2]顾民，吕静兰，刘江丽.化工产品配置技术精选众书电子化学品[M].北京：中国石化出书社，2006.

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